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一個有關晶圓片的問題

文章發表於 : 週四 11月 13, 2003 4:31 pm
ALTIS
這個問題我在很久很久以前就想問了
但是又找不到人問
那就是晶圓片為什麼要做圓的ㄌㄟ:(

Re: 一個有關晶圓片的問題

文章發表於 : 週四 11月 13, 2003 5:26 pm
skyboat
ALTIS 寫:這個問題我在很久很久以前就想問了
但是又找不到人問
那就是晶圓片為什麼要做圓的ㄌㄟ:(


http://www.chjhs.chc.edu.tw/0320.htm
http://www.new7.com.tw/weekly/old/784/784-068.html

※可能在 "拉晶"(?)時有旋轉的作業,自然就生成圓柱狀而非方的。

Re: 一個有關晶圓片的問題

文章發表於 : 週四 11月 13, 2003 5:46 pm
mtlin12
skyboat 寫:
ALTIS 寫:這個問題我在很久很久以前就想問了
但是又找不到人問
那就是晶圓片為什麼要做圓的ㄌㄟ:(


http://www.chjhs.chc.edu.tw/0320.htm
http://www.new7.com.tw/weekly/old/784/784-068.html

※可能在 "拉晶"(?)時有旋轉的作業,自然就生成圓柱狀而非方的。


以熔融固化方式的柴氏法為成長大尺吋晶圓的主流。詳閱:
http://www.mem.com.tw/m142/m14215.htm

文章發表於 : 週四 11月 13, 2003 6:57 pm
ALTIS
:ya: 原來如此,謝謝